可定制靶材規格：
圓靶（直徑φ1"-φ14"，厚度0.5-15mm）
板靶(長<500mm，寬<500mm，高<25mm）
管靶（外直徑φ3.0mm-φ300mm,內直徑φ2.0mm-280mm）
材料純度：>99.995%
金屬雜質含量：（Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn）：<10ppm
平整度（TIR）:<20μm
局部平整度（STIR）:<10μm
翹曲度（Warp）:<50μm
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