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        巨偉鈦業(yè)談磁控濺射鈦靶材的應(yīng)用現(xiàn)狀與前景
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        巨偉鈦業(yè)談磁控濺射鈦靶材的應(yīng)用現(xiàn)狀與前景

        發(fā)布時間 :2021-07-19 10:07:08 瀏覽次數(shù) :

        磁控濺射鈦靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、平面顯示屏和家裝汽車行業(yè)裝飾鍍膜領(lǐng)域,如玻璃裝飾鍍膜和輪轂裝飾鍍膜等。

        鈦靶材

        為了更能接近磁控濺射靶材的使用者,以便提供更完善的售后服務(wù),全球主要靶材制造商通常會在客戶所在地設(shè)立分公司。目前,亞洲的一些國家和地區(qū),如臺灣、韓國和新加坡就建立了越來越多制造薄膜元件等產(chǎn)品的工廠,如IC、液晶顯示器制造廠,對靶材廠商而言,這是相當重要的新興市場。因此,全球靶材制造基地正在快速向亞洲地區(qū)聚集。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體集成電路、平面顯示及裝飾鍍膜等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,中國的靶材市場日益擴大,已逐漸成為世界薄膜靶材的最大需求地區(qū)之一,這為中國靶材制造業(yè)的發(fā)展提供了機遇和挑戰(zhàn)。近幾年,在集成電路產(chǎn)業(yè)基金、國家科技重大專項(01、02、03)及地方基金等國家隊的帶動下,集成電路產(chǎn)業(yè)投資可謂大熱,據(jù)統(tǒng)計,僅2015-2016兩年間,國內(nèi)已經(jīng)宣布在建或計劃開工的晶圓生產(chǎn)線就多達44條,其中300mm 18條,200mm 20條,150mm 6條。在此巨大市場需求的拉動下,靶材產(chǎn)業(yè)必將引起了我國有關(guān)科研院所和企業(yè)的重視和關(guān)注,紛紛投入人力、物力、財力從事磁控濺靶材的研發(fā)和生產(chǎn)。鈦靶材作為靶材領(lǐng)域的獨特一個分支無論在半導(dǎo)體A1工藝或Cu工藝下都有應(yīng)用,同時在液晶顯示器行業(yè)和裝飾鍍膜行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。目前鈦靶材研發(fā)生產(chǎn)的基地主要集中在北京、廣東地區(qū)、江浙、甘肅等地。由于靶材原料純度、生產(chǎn)裝備和工藝研發(fā)技術(shù)的限制,我國鈦靶材制造業(yè)還處于初創(chuàng)期,國內(nèi)鈦靶材生產(chǎn)企業(yè)基本屬于質(zhì)量和技術(shù)門檻較低、采用傳統(tǒng)加工方法、依靠價格取勝的低檔次濺射靶材生產(chǎn)者,或獲利有限的代工型加工廠。生產(chǎn)規(guī)模小,品種單一,技術(shù)還不穩(wěn)定,迄今為止,中國(包括中國臺灣)僅有幾家生產(chǎn)靶材的專業(yè)公司,如有研億金、江峰電子等企業(yè),生產(chǎn)的鈦靶材遠遠不能滿足市場發(fā)展的需要,大量鈦靶材還需從國外進口,高純度金屬鈦靶材的原材料已經(jīng)獲得突破,但是大部分還不得不依賴進口。

        鈦靶材作為一種具有特殊用途的材料,具有很強的應(yīng)用目的和明確的應(yīng)用背景。脫離金屬鈦的冶金提純技術(shù)、EB真空熔煉技術(shù)、鈦錠無損探傷技術(shù)、高純鈦的雜質(zhì)分析技術(shù)、鈦靶材的制備技術(shù)、濺射機臺制備技術(shù)、濺射工藝和薄膜性能測試技術(shù)單純地研究鈦靶材本身沒有任何意義。鈦靶材的研發(fā)生產(chǎn)及后續(xù)的應(yīng)用改進涉及一個從上游原材料到產(chǎn)業(yè)中游設(shè)備制造商和靶材制造商共同研發(fā)、下游鈦靶材鍍膜芯片應(yīng)用的整個產(chǎn)業(yè)鏈。鈦靶材性能與濺射薄膜性能之間的關(guān)系,既有利于獲得滿足應(yīng)用需要的薄膜性能,又有利于更好的使用靶材,充分發(fā)揮其作用,促進靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展。目前正處在集成電路產(chǎn)業(yè)在中國大陸蓬勃發(fā)展的階段,機遇和挑戰(zhàn)并存,如果不能抓住機遇把靶材制造、薄膜制造和檢測設(shè)備國產(chǎn)化,我國與國際水平的差距必將越來越大,不僅不能奪回由外商占領(lǐng)的國內(nèi)市場,更無法參與國際市場的競爭。

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