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        微電子用鉻靶
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        微電子用鉻靶

        材質:Cr

        執行標準: 按圖紙生產

        瀏覽次數:

        發布日期: 2023-07-09 10:56:58

        全國熱線: 0917 - 3125849

        詳細描述 / Detailed description

        公司生產的鉻靶材采用先進的熱等靜壓(HIP)工藝生產,產品包括矩形靶、圓弧靶、環形靶和大長徑比整體成形管靶等類型,具有純度和密度可控、晶粒細小均勻、使用壽命長等優點。

        鉻靶性能
        純度/%99.599.95
        密度/g/cm3≥7.12≥7.12
        晶粒度/μm≤100≤100
        金屬雜質總和/ppm≤5000≤500
        熱導率/W/m.K60100
        熱膨脹系數/1/K8×10-68×10-6
        規格尺寸/mm平面靶≤1500×500≤1500×500
        旋轉靶熱等靜壓整體成形      長度≤2000     厚度≤15熱等靜壓整體成形          長度≤2000     厚度≤15

        2N5微量元素PPM≥7.12g/cm3

        成分鐵(Fe)鋁(Al)硅(Si)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
        標準≤1500≤1200≤1500≤200≤50≤1400≤300
        測試值98030060062501200200

        2N8微量元素PPM≥7.12g/cm3

        成分鐵(Fe)鋁(Al)硅(Si)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
        標準≤800≤300≤400≤200≤50≤1000≤100
        測試值7407892845034030

        3N微量元素PPM≥7.12g/cm3

        成分鐵(Fe)鋁(Al)硅(Si)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
        標準≤500≤100≤150≤150≤30≤500≤100
        測試值2904780902845050

        3N5微量元素PPM≥7.12g/cm3

        成分鐵(Fe)鋁(Al)硅(Si)銅(Cu)鎳(Ni)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
        標準≤100≤50≤50≤10≤50≤50≤30≤150≤80
        測試值504540710242713730
        產品相冊 / Product album
        聯系巨偉鈦業 / Introduction
        寶雞巨偉鈦業有限公司
        電話:0917 - 3125849 手機:15891077471 
        傳真:0917 - 3125849 QQ:748619711 郵箱:jwty1988@163.com
        地址:寶雞市高新開發區馬營鎮溫泉村工業園
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